基本信息
| 标准名称： | 集成电路主要工艺设备术语 |
| 英文名称： | Terms relating to main equipment for integrated circuit technologies |
| 中标分类： | 医药、卫生、劳动保护 >> 医药、卫生、劳动保护综合 >> 技术管理 |
| 发布日期： | 1991-04-02 |
| 实施日期： | 1991-07-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 68页 |
适用范围
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前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 医药 卫生 劳动保护 医药 卫生 劳动保护综合 技术管理